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雅科贝思精密机电(上海)有限公司展出AFXS工作台

材料来源：SEMI中国

展位号：E5-5473

产品特性：

1）用于晶圆、蓝宝石等检测，由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动；

2）XY轴采用交叉滚柱导轨，中空结构，内置光栅系统，分辨率 50 nm，重复定位精度可达 ±0.75μm，绝对定位精度 2μm；

3）有效行程 70 * 70 mm，最大速度 200 mm/s；

4）可根据需求定制。

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