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晶盛机电成功研发12英寸导电型SiC晶体

      材料来源:晶盛机电

日前,晶盛机电子公司浙江晶瑞电子材料有限公司实现12英寸导电型 (SiC)单晶生长技术突破,首颗12英寸SiC晶体成功出炉——晶体直径达到309mm,质量完好。这不仅标志着晶盛机电在SiC领域实现了6-12英寸全尺寸长晶技术的自主可控,更为我国SiC产业链的自主化发展提供了强有力的技术支撑。
据悉,浙江晶瑞基于自主研发的SiC单晶生长炉以及持续迭代升级的8-12英寸长晶工艺,经过多年的技术攻关,创新晶体生长温场设计及气相原料分布工艺,成功攻克12英寸SiC晶体生长中的温场不均、晶体开裂等核心难题,实现了12英寸超大尺寸晶体生长的重要突破。
此次成功研制出12英寸SiC晶体,大幅度提升晶圆的有效可用面积,快速降低芯片单位成本,是晶盛机电正式迈入超大尺寸SiC衬底新时代的重要标志,将进一步加速我国SiC产业链的完善,为国产SiC材料在新能源汽车、光伏储能、智能电网、5G及AI/AR智能眼镜等行业的快速规模化应用提供可能。
 
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