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北方华创PVD设备出货突破1000台

材料来源：北方华创

5月28日，北方华创举办“PVD整机1000台交付庆典”。这是继刻蚀设备、立式炉设备之后，北方华创第三个达成单产品出货量突破1000台的品类里程碑。

（图片来源：北方华创官微）

据介绍，北方华创自2008年起深耕PVD装备研发，成功推出40余款量产型PVD设备，累计出货量达1000台，超过5000个腔室，已成为国内领先的PVD设备解决方案提供商。其产品广泛应用于逻辑、存储、功率器件、先进封装、硅基微型显示、MEMS（微机电系统）、半导体照明等半导体及泛半导体领域。

在PVD方面，北方华创PVD团队在磁控溅射源设计、高真空静电卡盘、等离子体产生及控制、腔室设计与仿真模拟、颗粒控制、软件控制等多项关键技术上取得一系列突破，构建起具有自主知识产权的核心技术优势。

资料显示，在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入等核心工艺装备。其中，在薄膜沉积设备领域，北方华创已形成了物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、外延（EPI）和电镀（ECP）设备的全系列布局。2024年公司薄膜沉积设备收入超100亿元。

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