在一台显微镜上使用多种光谱进行晶圆分析

显微光谱学是一种在微观及微观以下级别的采样中进行各种光谱分析的实践。由于其普遍性和扎实的光学设计属性，任何一家主要显微镜制造商的标准显微镜都为此类研究提供了天然的平台，许多研究人员长期以来一直为光谱定制这种平台。尽管将显微镜的原生成像功能与光谱学进行复用非常吸引人，但这种努力可能非常具有挑战性，因为大多数显微镜本身就是光学光谱可见范围内的成像设备，而且这种功能的光学设计考虑因素与广谱光谱仪的考虑因素有很大不同。

在这次网络研讨会中，Horiba Scientific提出了一种新颖的概念，可以在任何光学显微镜上添加各种光谱，即所谓的标准显微镜光谱系统或SMS。由于其设计将光谱学所需的关键光学器件与成像器件分离开来，因此可以在不损害显微镜固有成像功能的情况下优化光谱性能。此外，通过一种灵活的模块化设计，SMS系统可以在一个平台上复用不同的互补光谱。这不仅经济实惠，而且还有助于从样品上的同一微点采集不同但互补的光谱。此功能可以轻松添加到用户现有的显微镜中。

大型SMS晶圆测绘仪可以将拉曼、光致发光、时间分辨光致发光和反射等光谱结合在一台仪器上，它能够测绘高达300毫米的晶圆。

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