K-Space发布新的薄膜生长监控光谱反射产品

非接触式计量解决方案使用桑迪亚国家实验室开发的方法

k-Space Associatesans ans发布了kSA SpectR，这是一个用于测量绝对光谱反射率，L * a * b *颜色参数和生长速率的完整非接触式计量解决方案。。

该工具具有许多用于现场监控和过程控制的应用程序，包括VCSEL，分布式Bragg反射器（DBR）和其他复杂的器件结构。薄膜生产和研究机构可以将其用于溅射，MBE和MOCVD生长方法中。

kSA SpectR光学器件以镜面反射几何形状配置。 k-Space使用在Sandia国家实验室开发的方法，并已授权给k-Space。在这种方法中，贴合程序从每个新层开始重新开始，将底层薄膜叠层视为“虚拟”基底。

kSA SpectR可以同时在多个波长下进行测量，每种波长都有潜在的优势。此工具可以在用户定义的感兴趣波长范围内轻松测量自定义光谱特征，例如最小反射率，最大值，拐点或基线散射水平。

k-Space首席执行官Darryl Barlett表示：“与我们的许多工具一样，这个工具是特定客户需求的直接结果。当客户来找我们时，我们听取了他们的测量要求，然后设计了一个结合了桑迪亚国家实验室技术的系统，该系统可以为他们的应用服务。”